Полуавтомат плазмохимической обработки пластин „Плазма-600Т“

Первый отечественный полуавтомат плазмохимической обработки пластин. Разработан в НИИПМ г. Воронеж в 1976 г., производился в НИИПМ и на заводе „Кварц“ г. Калининград.

Установка предназначена для очистки поверхности и удаления резистов с кремниевых (и других) пластин в среде кислорода или воздуха, а также для удаления нитрида кремния и некоторых металлов (образующих летучие соединения) в среде хладона 14 (CF₄). Предварительный разогрев происходит в плазме в среде азота. Несмотря на почтенный возраст, ввиду своей простоты и надёжности, многие установки работоспособны и используются в научных и образовательных учреждениях.

Документация

• Техническое описание и руководство по эксплуатации ЩЦМ3.240.208 ТО TIFF, 20,7 МБ
• Инструкция по настройке ЩЦМ3.240.208 ИН TIFF, 10,9 МБ === Выполнить перед первым включением! ===
• Кабель соединительный, схема: GIF
• Вакуумметр теплоэлектрический блокировочный ВТБ-1. Блоки:
• Реле вакумное теплоэлектрическое РВТ-1М. Схема. Склейка: PNG, часть 1: PNG, часть 2: PNG
• Блок индикиции БИ-2. Схема, фрагмент: GIF
• Генератор. Схема. часть 1: PNG ,часть 2: PNG
• Блок управления:
• Автоматика 220 В, схема: PNG
• Автоматика 12 В и 24 В, схема: PNG
• Перечень: PNG
• Заслонка датчика обдува ламп. Развёртка GIF
  Верхнюю часть отогнуть на угол 90° и свернуть в цилиндр на оправке ⌀2 мм. Правую часть отогнуть на угол 90°.

Предложения, дополнения и вопросы присылайте по адресу: extralabΘya°ru